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我国高端镀膜装备实现自主突破,新景昇首台 8.5 代电致变色薄膜设备下线

我国高端镀膜装备实现自主突破,新景昇首台 8.5 代电致变色薄膜设备下线
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要点导读

  • 8.5 代电致变色薄膜产线首台设备下线
  • 补齐高端镀膜装备长期依赖进口的短板
  • 膜厚均匀性控制在 2% 以内
  • 设备将运往哈尔滨开展工艺验证
  • 支撑全固态电致变色薄膜产业化

内容摘要

北京新景昇智联科技宣布 8.5 代电致变色薄膜产线完成节点验收,首台设备成功下线,标志我国大面积连续磁控溅射镀膜核心装备取得突破。该设备可连续制备超大基板多层薄膜,膜厚均匀性控制在 2% 以内,后续将运往哈尔滨开展工艺验证。

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